真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐

真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐 

真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐是在真空或保護(hù)氣氛下，利用中頻感應(yīng)原理將置于感應(yīng)線圈內(nèi)的石墨坩堝加熱，也可電阻加熱，石墨坩堝中放入被制備的碳-碳復(fù)合材料。在一定溫度下將坩堝加熱到規(guī)定溫度，并通入稀釋的碳?xì)錃怏w。該氣體中含碳活性基因分解后便沉積于材料表面。這樣制備的復(fù)合材料，其耐磨性將大大增加。本設(shè)備適用于化學(xué)氣相沉積法制備復(fù)合材料，也可做為硬質(zhì)合金制品的燒結(jié)。碳--碳復(fù)合材料是一種炭纖維增強(qiáng)炭基體的先進(jìn)復(fù)合材料，具有低密度、高比強(qiáng)、耐高溫(3000℃)、 摩擦磨損性能優(yōu)異等特點(diǎn)。早期，通過試驗(yàn)方法研制出的 碳--碳復(fù)合材料產(chǎn)品主要用于航空航天領(lǐng)域，如軍用飛機(jī)制動(dòng)盤、火箭發(fā)動(dòng)機(jī)噴管、燃燒室、鼻錐等關(guān)鍵部件。目前，碳--碳復(fù)合材料因其優(yōu)異的性能，廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代交通、大型制造業(yè)、國家大型核能工程、現(xiàn)代國防建設(shè)、高溫?zé)岱雷o(hù)、半導(dǎo)體工業(yè)、熱壓模具等領(lǐng)域。

碳--碳復(fù)合材料制備的關(guān)鍵技術(shù)是炭纖維預(yù)制體的致密化—CVI工藝。碳--碳復(fù)合材料化學(xué)氣相沉積爐是CVI工藝的專用設(shè)備，是在一定的真空或惰性氣氛條件下，利用感應(yīng)或電阻發(fā)熱的原理將爐內(nèi)工件加熱到一定溫度后，通入碳源性氣體，氣體在高溫下裂解后產(chǎn)生含碳物質(zhì)，沉積于工件表面，達(dá)到組織增密的目的。

鑒于碳--碳復(fù)合材料廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和廣闊的市場前景，我公司開發(fā)出了大型碳--碳復(fù)合材料化學(xué)氣相沉積爐，主要用于大型碳--碳制品的化學(xué)氣相沉積，也可進(jìn)行全程真空炭化處理。

主要技術(shù)參數(shù)