![梧州真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐](http://www.xzsxjl.com/data/upload/202009/20200909150217_126.png)
真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐
真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐是在真空或保護(hù)氣氛下,利用中頻感應(yīng)原理將置于感應(yīng)線圈內(nèi)的石墨坩堝加熱,也可電阻加熱,石墨坩堝中放入被制備的碳-碳復(fù)合材料。在一定溫度下將坩堝加熱到規(guī)定溫度,并通入稀釋的碳?xì)錃怏w。該氣體中含碳活性基因分解后便沉積于材料表面。這樣制備的復(fù)合材料,其耐磨性將大大增加。本設(shè)備適用于化學(xué)氣相沉積法制備復(fù)合材料,也可做為硬質(zhì)合金制品的燒結(jié)。碳--碳復(fù)合材料是一種炭纖維增強(qiáng)炭基體的先進(jìn)復(fù)合材料,具有低密度、高比強(qiáng)、耐高溫(3000℃)、 摩擦磨損性能優(yōu)異等特點(diǎn)。早期,通過試驗(yàn)方法研制出的 碳--碳復(fù)合材料產(chǎn)品主要用于航空航天領(lǐng)域,如軍用飛機(jī)制動(dòng)盤、火箭發(fā)動(dòng)機(jī)噴管、燃燒室、鼻錐等關(guān)鍵部件。目前,碳--碳復(fù)合材料因其優(yōu)異的性能,廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代交通、大型制造業(yè)、國(guó)家大型核能工程、現(xiàn)代國(guó)防建設(shè)、高溫?zé)岱雷o(hù)、半導(dǎo)體工業(yè)、熱壓模具等領(lǐng)域。
碳--碳復(fù)合材料制備的關(guān)鍵技術(shù)是炭纖維預(yù)制體的致密化—CVI工藝。碳--碳復(fù)合材料化學(xué)氣相沉積爐是CVI工藝的專用設(shè)備,是在一定的真空或惰性氣氛條件下,利用感應(yīng)或電阻發(fā)熱的原理將爐內(nèi)工件加熱到一定溫度后,通入碳源性氣體,氣體在高溫下裂解后產(chǎn)生含碳物質(zhì),沉積于工件表面,達(dá)到組織增密的目的。
鑒于碳--碳復(fù)合材料廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和廣闊的市場(chǎng)前景,我公司開發(fā)出了大型碳--碳復(fù)合材料化學(xué)氣相沉積爐,主要用于大型碳--碳制品的化學(xué)氣相沉積,也可進(jìn)行全程真空炭化處理。
主要技術(shù)參數(shù)
參數(shù)/型號(hào) | 單位 | ZGQC-100 | ZGQC-160 | ZGQC-160 |
坩堝有效容積 (直徑×高) | mm | Φ340×700 | Φ600×900 | Φ650×1600 |
中頻電源功率 | Kw | 100 | 160 | 160 |
中頻電源頻率 | Hz | 2500 | 2500 | 1000 |
最 高工作溫度 | ℃ | 1200 | 1200 | 1200 |
恒溫區(qū)溫差 | ℃ | ±10 | ±10 | ±10 |
極限真空度 | Pa | 4 | 4 | 4 |
壓升率 | Pa/h | 5 | 5 | 5 |
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